Технологическая автоматизация

Методы цифровых технологий

Модель и характеристики резонаторного измерительного преобразователя с коаксиальной апертурой для микроволновой микроскопии

Одним из современных методов диагностики материалов микро- и наноэлектроники является метод микроволновой сканирующей микроскопии (МСМС), особенностями которого является бесконтактность, неразрушаемость образцов при проведения измерений Большей чувствительностью обладают резонансные методы В качестве РИП наиболее применимы четвертьволновые коаксиальные резонаторы, ввиду возможности концентрации электрического поля на заданном участке и внешнего расположения объекта исследований.

Для выявления малых отклонений в проводимости сканируемого образца высокотемпературных сверхпроводников (ВТСП), РИП должен иметь высокую собственную добротность Это достигается применением ВТСП в конструкции РИП. Пространственная разрешающая способность современных установок МСМС ВТСП составляет 1 мкм

Свойства полупроводниковых материалов существенно отличаются от свойств ВТСП Параметры полупроводниковых материалов (время жизни основных и неосновных носителей, их подвижность и пр.) изменяются в довольно узких пределах. Поэтому РИП, применяемые в МСМС полупроводниковых структур, должны обладать большей чувствительностью к изменению параметров образца, чем в случае МСМС ВТСП. Также требуется обеспечить проведение трёхмерного сканирования объекта для выявления дефектов и неоднородностей, расположенных в объёме, как правило, пленочной полупроводниковой структуры.

Можно сформулировать наиболее актуальные задачи дальнейшего совершенствования МСМС:

- одновременное увеличение чувствительности и пространственной разрешающей способности, что само по себе носит противоречивый характер;

- обеспечение многопараметрической и трехмерной диагностики в связи с объемным характером образца в наноэлектронике.

Вместе с тем, современные исследования уделяют недостаточно внимания изучению структуры поля в ближней зоне в количественном представлении, что сдерживает постановку и решение оптимизационных задач для МСМС.

Другие статьи по теме:

Анализ на безопасность платы ТС2 ЦП ДЦ Минск цифровая схема моделирование интерфейсный Одним из эффективных инструментов проверки безопасности системы (элементов) является физическое и (или) логическое (имитационное) модел ...

Электропреобразовательные устройства РЭС Курс «Электропреобразовательные устройства РЭС» является одной из первых инженерных дисциплин специальности «Радиотехника», обеспечивающей подготовку радиоинженера в области силовых рад ...

Анализ видов измерителей электроэнергии На сегодняшний день на предприятиях производственной сферы используются промышленные электросчетчики, в том числе электронные, многотарифные и многофункциональные. Данные счетчики облада ...