Технологическая автоматизация

Методы цифровых технологий

Синтез топологии чувствительного элемента акселерометра

Таблица 4.1.2 Максимальные и минимальные значения переменных

Функциональные переменные

gsu

Зазор между чувствит. л-том

2

2

Lsa

Длина якоря

11

11

gfu

Зазор между зубцами обратной связи

2

2

Wsa

Ширина якоря

11

11

gsfu

Зазор между чувствит. зубцами и зубцами обратной связи

10

10

Lp,lm

Длина ограничителя

2

2

Lsfor

Перекрытие подвиж. зубцов неподвижными

21

21

Wp,lm

Ширина ограничителя

2

2

Lssor

Длина неподвижных зубцов

16

16

Lra

Длина якоря пружины

15

15

Для уменьшения размера прибора, значения этих параметров делают настолько малыми, насколько позволяет технология производства.

Конструктивные ограничения

Геометрические связи - конструктивные ограничения, вытекающие из топологии. В данной конструкции акселерометра, имеем 11 геометрических связей, что показано на Рисунке 13, а также в Таблице 4.2.

Первые три связи определяют размер устройства. Длина и ширина не должны быть больше установленного предела в 700 мкм. Ширина прибора может быть равна ширине U- образной пружины или ширине чувствительного элемента.

Рисунок 13. Геометрические связи топологии акселерометра

Длина пружинного якоря вычислена от Lb1, Lb2, и Wpm и должна быть больше или равна минимальной ширине 11 мкм. Для предотвращения касания, зазор между подвижными зубцами гребенки и зубцами обратной связи должен быть большим, чем зазор ограничителя перемещения в направлении x, gx,limit, и ход гребенки по оси y должен быть больше, чем gy,limit. Зазор между ограничителем перемещения и пружиной должен быть больше 2.0 мкм и он ограничивает минимальную длину рамы. Также он должен быть больше чем gx,limit, являющегося ограничителем хода. Все вышеупомянутые связи - линейные. Однако, есть одна нелинейная геометрическая связь - зазор между пружиной и зубцами гребенки. Перейти на страницу: 1 2 3 4 5

Другие статьи по теме:

Слепая компенсация эффекта разбаланса квадратур с использованием алгоритма множественных инверсий В современных средствах связи на смену аналоговым системам пришли цифровые. Это обусловлено тем, что при своем использовании цифровые системы значительно превосходят аналоговые по качес ...

Зоновая РРЛ прямой видимости Рязань-Ряжск канал профиль интервал Радиорелейные линии занимают прочное место в сети связи РФ. Они широко используются для передачи сигналов многоканальной телефонии, телевидения, звукового вещания, ...

Микропроцессорная система управления объектом Микропроцессорные и информационно-управляющие системы, в настоящее время, стали одним из наиболее дешевых и быстрых способов обработки информации. Практически ни одна область современно ...