Технологическая автоматизация

Методы цифровых технологий

Технологические расчеты

Расчет технологической точности пленочных элементов микросхем.

В основу расчета точности положены функциональные связи выходных параметров пассивных тонкопленочных элементов с электрофизическими параметрами пленок и геометрическими размерами.

R=R–

Расчет резисторов

№ R, ОмR–,

ОмL, ммB, ммСреднестатистические параметры

 

R–, Ом

3sR, Ом

Lср, мм

3sLср, мм

Bср, мм

3sBср, мм

R1

16900510000±50050910000510500,00890,014

R2

16905500±254,90,75002660,008110,01

Для R1:

(R–)ту = 500 Ом

(L)ту = 0,005 мм

(В)ту = 0,005 мм

Для R2:

(R–)ту = 25 Ом

(L)ту = 0,005 мм

(В)ту = 0,005 мм

1) Определим коэффициент рассеяния:

, i = R–, L, B

Для R1:–=510/500=1,02=0,008/0,005=1,6=0,014/0,005=2,8

Для R2:–=26/25=1,04=0,008/0,005=1,6=0,01/0,005=2

2) Определим случайные относительные погрешности выходного параметра:

R– = 5%

Для R1:

L=0,005∙100/50=0,01

B=0,005∙100/9=0,055

Для R2:

L=0,005∙100/6=0,083

B=0,005∙100/11=0,045

3) Расчет технологических режимов изготовления тонкопленочных резисторов методом термовакуумного испарения.

Исходные данные:

R1=500 Ом∙мR2=900 Ом∙м

ТКС1= -1,3∙10-4ТКС2= -1,5∙10-4

Так как испаряемый материал - резистивный сплав РС-3710 мы использовали следующие формулы для расчета: Перейти на страницу: 1 2 3

Другие статьи по теме:

Цифровые измерительные приборы Одно из преимуществ цифровых схем по сравнению с аналоговыми заключается в том, что у первых сигналы могут быть переданы без искажений. Например, непрерывный звуковой сигнал, передающийс ...

Преобразование кодов Коды обнаружения или обнаружения и исправления ошибок применяются в вычислительных машинах для контроля правильности передач информации между устройствами и внутри устройств машины, а также ...

Технологический процесс изготовления платы интегральной микросхемы-фильтра Микроэлектроника как современное направление проектирования и производства электронной аппаратуры различного назначения является катализатором научно-технического прогресса. Автоматизац ...