Технологическая автоматизация

Методы цифровых технологий

Интегральные гироскопы в микросхеме ADXRS

Этот гироскоп компании Analog Devices является первым коммерчески доступным прибором, который объединил на одной пластине кремния датчик угла поворота и электронику обработки сигнала. Разработчики использовали технологию iMEMS. За счет этого удалось сделать гироскоп более точным, более надежным, более экономичным и миниатюрным, чем любой другой датчик угла поворота аналогичного класса. Микросхема помещена в корпус с шариковыми выводами, размеры которого составляют 7х7х3 мм. При питании 5 В потребляемая мощность составляет всего 30 мВт. Микросхема обеспечивает стабильный выходной сигнал даже при наличии механических шумов до 2000g в широком диапазоне частот. В приборе предусмотрено устройство самопроверки механической и электрической частей. Внешний вид кристалла микросхемы приведен на рисунок 4.

.

Рисунок 4. Внешний вид кристалла микросхемы гироскопа.

Гироскоп выпускается в двух модификациях (с динамическим диапазоном 1500/c и 3000/c). Применение этой микросхемы позволит увеличить точность и надежность приборов системы глобального местоопределения, а также контролировать перемещение различных движущихся средств: автомобилей, самолетов, промышленных роботов, антенн, промышленного оборудования.

Специальные интеллектуальные датчики

Использование МЭМС-технологий в современных электронных системах позволяет значительно увеличить их функциональность. Используя технологические процессы, почти не отличающиеся от производства кремниевых микросхем, разработчики МЭМС - устройств создают миниатюрные механические структуры, которые могут взаимодействовать с окружающей средой и выступать в роли датчиков, передающих воздействие в интегрированную с ними электронную схему. Именно датчики являются наиболее распространенным примером использования МЭМС-технологии: они используются в гироскопах, акселерометрах, измерителях давления и других устройствах.

В настоящее время почти все современные автомобили используют рассмотренные выше МЭМС-акселерометры для активации воздушных подушек безопасности. Микроэлектромеханические датчики давления широко используются в автомобильной и авиационной промышленности. Гироскопы находят применение во множестве устройств, начиная со сложного навигационного оборудования космических аппаратов и заканчивая джойстиками для компьютерных игр. МЭМС - устройства с микроскопическими зеркалами используются для производства дисплеев и оптических коммутаторов (рисунок 5).

Рисунок 5. Элемент микрозеркальной матрицы оптических коммутаторов

Микрокоммутаторы и резонансные устройства, выполненные по МЭМС-технологии, демонстрируют меньшие омические потери и высокую добротность при уменьшении потребляемой мощности и габаритов, лучшей повторяемости и более широком диапазоне варьируемых параметров. В биотехнологии применение МЭМС-устройств позволяет создавать дешевые, но производительные однокристальные устройства для расшифровки цепочек ДНК, разработки новых лекарственных и других специальных препаратов (“лаборатория на кристалле”). Кроме того, необходимо также отметить емкий рынок струйных принтеров, в катриджах которых используются микрожидкостные МЭМС-устройства, создающие и выпускающие микрокапли чернил под управлением электрических сигналов.

В заключение отмечу, что, по мнению экспертов, развитие микросистемной техники (особенно для России) может иметь такое же влияние на научно-технический прогресс, какое оказало появление микроэлектроники на становление и современное состояние ведущих областей науки и техники.

Нанесение тонкослойного поликристаллического кремния на оксидную подложку с ее последующим травлением совместимо с технологическими приемами, применяемыми в производстве ИС, что позволяет конструировать сенсорные устройства, интегрированные на одном кристалле. Именно на этом пути компании Analog Devices удалось в последние годы разработать одно- и двухосные акселерометры ADXL150 и ADXL250, имеющие высокую точность (относительная погрешность 0,02%) и весьма привлекательную стоимость. Впервые проникнув на рынок автомобильной промышленности в качестве командных датчиков подушек безопасности, эти акселерометры сейчас все шире используются в основных узлах современных автомобилей, в том числе, антиблокировочных системах тормозов, системах охраны и сигнализации, автоматической коррекции наклона фар, управления активной подвеской и многих других системах. Перспективно их применение в так называемых “черных ящиках”, непрерывно регистрирующих параметры движения автомобиля.

Другие статьи по теме:

Тепловой расчет аппарата с перфорированным корпусом Большинство радиотехнических устройств, потребляя от источников питания мощность, измеряемую десятками, а иногда и сотнями ватт, отдают полезной нагрузке от десятых долей д ...

Исследование параметров и аномалий длинной оптической линии В настоящее время системы связи стали одной из основ развития общества. Спрос на услуги связи, от обычной телефонной связи до широкополосного доступа в Интернет, постоянно растет. Это п ...

Диспетчерская централизация на базе комплекса технических средств Неман Диспетчерская централизация (ДЦ) - это комплекс устройств железнодорожной автоматики и телемеханики, состоящий из автоблокировки на перегонах, электрической централизации стрелок ...