Технологическая автоматизация

Методы цифровых технологий

Технологические расчеты

R–=594,21-26,46∙Ти+61,29∙Тп-217,96∙d+13,21∙Ти∙d-24,86∙Тп∙d, Ом

ТКС=(-2,06+0,405∙Ти-0,544∙Тп-1,303∙d) 10-4, град-1

Для R1:

За базовый уровень варьируемых факторов приняты следующие значения:

Тио=1500 °C Тпо=200 °C d0=300 Å

Интервалы варьирования:

ΔТи=100 °C ΔТп=150 °C Δd=100 Å

Кодированные значения соответствующих параметров технологического процесса , , d связаны между собой следующими соотношениями:

, , ;

При расчете технологических режимов по системе уравнений регрессии значение одного из варьируемых факторов приходится выбирать в интервале варьирования произвольно (избыток неизвестных). В таком качестве лучше всего выбирать фактор с наименьшим коэффициентом влияния на выходной параметр. В уравнение необходимо подставлять его кодированное значение в интервале ± 1.

Подставим полученные кодированные значения в уравнения:

3222

Рассчитаем коэффициент свидетеля, Roc, а также время стабилизации сопротивления τст, т. е. длительности термообработки.

0,934

Зная коэффициент свидетеля, рассчитаем сопротивления осажденной пленки:

59,4 Ом

Полученные результаты записаны в таблицу 1.

Для R2:

За базовый уровень варьируемых факторов приняты следующие значения:

Тио=1500 °C Тпо=200 °C d0=300 Å

Интервалы варьирования:

ΔТи=100 °C ΔТп=150 °C Δd=100 Å

Кодированные значения соответствующих параметров технологического процесса , , d связаны между собой следующими соотношениями:

, , ;

При расчете технологических режимов по системе уравнений регрессии значение одного из варьируемых факторов приходится выбирать в интервале варьирования произвольно (избыток неизвестных). В таком качестве лучше всего выбирать фактор с наименьшим коэффициентом влияния на выходной параметр. В уравнение необходимо подставлять его кодированное значение в интервале ± 1.

Подставим полученные кодированные значения в уравнения:

0,934

3222

Рассчитаем коэффициент свидетеля, Roc, а также время стабилизации сопротивления τст, т. е. длительности термообработки.

Зная коэффициент свидетеля, рассчитаем сопротивления осажденной пленки:

33 Ом Перейти на страницу: 1 2 3

Другие статьи по теме:

Исследование цилиндрического резонатора с коаксиальной апертурой Современная наука и производство немыслимы без точных, экспресс-методов измерения физических параметров материалов и сред. Прецизионные измерения и исследование их характеристик актуаль ...

Технические средства, применяемые в деловом общении В деловом мире в условиях обострения конкуренции деловое общение становится важным фактором, определяющим успех деятельности не только отдельного человека, но подчас и целой фирмы ...

Интеллектуальная система управления Умный дом Умный дом - это неотъемлемый атрибут любого современного жилища, в котором так много различных инженерных систем: освещение, силовая электрика, отопление, вентиляция, конди ...